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氧氮液化裝置是將空分裝置分離出的氧氣和氮?dú)膺M(jìn)行液化得到液氧和液氮，其工藝流程根據(jù)液體產(chǎn)品產(chǎn)量的不同分為雙透平膨脹流程和單透平膨脹流程，根據(jù)工藝壓力不同分為低壓循環(huán)流程和中壓循環(huán)流程。